常用真空腔体材料有哪些?

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奥氏体不锈钢,比如321、347、304钢(碳含量越高,渗漏越厉害);
铝或铝合金,H2渗漏小,容易加工,放气率低,但强度低,易变形;
陶瓷-玻璃化的氧化铝,放气率低,不易吸附气体,可耐高温 (1500摄氏度),但陶瓷易碎且不易加工;
硼酸盐玻璃,硼硅酸玻璃,石英,用于小系统或作为观察窗.  易加工耐腐蚀;
密封圈:腈橡胶或丁钠橡胶通常作为垫圈,比如O型圈。不耐高温氟化橡胶可以耐200摄氏度, 常用于低压。

聚合物对所有的气体渗漏都很大


焊接


真空系统设计:
确定系统的种类和真空度;
选取真空阀;
选取连接管道并计算其流导;
计算并选取各种真空泵;
选取法兰等零件;
各种接头的密封考虑;
观察窗的设计;
真空系统的材料选取(光电磁等性能);
真空规的选取;
样品架的选择和样品传递系统;
材料脱气处理;
清洁真空表面;
安装与检漏。